姜堰：聚力“首台（套）”推动工业发展高端化

      近日，江苏省工业和信息化厅公示2023年江苏省首台（套）重大装备拟认定企业，姜堰区江苏亚电科技有限公司半导体湿法刻蚀清洗设备成功入选。该设备攻克了晶圆刻蚀清洗自适应供补液等核心技术，实现了我国高端半导体设备核心技术的完全国产化，有效破解了半导体制备技术“卡脖子”关键技术难题。

      “首台（套）”为“首台（套）重大技术装备”，指经过创新，其品种、规格或技术参数等有重大突破，具有知识产权但尚未取得市场业绩的首台套或首批次的装备、系统和核心部件，是代表行业和企业发展水平的重要标准之一。江苏亚电科技有限公司自主研发的DF-3000B 12英寸槽式半导体湿法刻蚀清洗设备，采用自适应供补液、加热、浓度、流量、压力自动控制、均匀化兆声波清洗、先进的干燥技术，拥有完全自主知识产权。

      姜堰区工信局局长何剑表示，研发、应用“首台套”既是实现装备高端化、智能化的有力手段，也是解决关键技术“卡脖子”问题、关键领域实现自主可控的重要途径。近年来，姜堰区工信局持续聚焦重点、优化服务，不断推动自主创新重大装备快速发展，促进企业制造装备升级和互联网化提升。目前，全区已认定省首台（套）重大装备11个，充分展示了姜堰在高端装备制造领域的创新能力和研制水平，为工业经济高质量发展源源不断注入了新动能。姜堰区将出台更多激励措施，鼓励企业自主创新，积极引导企业开展重大技术装备首台（套）研制，加快首台（套）重大技术装备推广应用，推动装备制造业高质量发展。（顾皓 姜存义）
 

编辑：申静婷